Pomiń polecenia Wstążki
Przeskocz do głównej zawartości

Skip Navigation LinksPrzedmiot

 

Wartości
(54) TytułMagnetron do osadzania cienkich warstw stopów metali z galem
Tytuł angielskiMagnetron for simultaneous spraying of solid and liquid state materials
(21) Numer zgłoszenia426579
(22) Data zgłoszenia2016-03-21
Zgloszenie macierzyste416557
Dodatkowe prawo ochronne
Numer WUP05/2019
Data publikacji WUP2019-05-31
Numer BUP20/2018
Data publikacji BUP2018-09-24
(11) Numer prawa wyłącznego232163
(86) Numer zgłoszenia PCT
Data zgłoszenia PCT
(87) Numer publikacji PCT
Data publikacji PCT
Pierwszeństwo
(57) Skrót opisu lub wykaz towarówPrzedmiotem wynalazku jest magnetron do jednoczesnego rozpylania materiałów w stanie stałym i ciekłym, przeznaczony zwłaszcza do osadzania cienkich warstw stopów metali z galem. Magnetron posiada cylindryczną obudowę (1) i denko (2), na którym osadzony jest target składany, posiadający dysk (3), wykonany z pierwszego czystego metalu w stanie stałym, na którym znajduje się co najmniej jedna płytka (6) z drugiego czystego metalu w stanie stałym oraz co najmniej jedno naczynie grafitowe (4), zawierające czysty ciekły gal (5). Dodatkowo target składany wyposażony jest w pierścieniowy nabiegunnik zewnętrzny (7) i centralny magnes wspomagający (8) w osłonie (9). We wnętrzu obudowy (1) magnetronu znajduje się główny magnes składany (10), umieszczony w puszce mosiężnej (11), podtrzymywanej teflonową oprawką (13). ZGŁOSZENIE WYDZIELONE Z P.416557
(51) Klasyfikacja MKP
Symbol klasyfikacji MKP
C23C14/35
C23C14/14
(72)/(73) Zgłaszający/Uprawniony
Nazwisko i imię/Nazwa firmyMiastoKraj
INSTYTUT FIZYKI POLSKIEJ AKADEMII NAUKWarszawaPL
(72) Twórcy
Nazwisko i imię/Nazwa firmyMiastoKraj
CHOJNACKI MICHAŁWarszawaPL
FRONC KRZYSZTOFWarszawaPL
SZYMCZAK HENRYKWarszawaPL
Pełnomocnicy
Decyzje
Otwórz w RegisterPlusRegisterPlus
Opis w nowym oknieOpis w nowym oknie
Rysunki